Hochreines Magnetron - Sputterbeschichtungssystem

Dieses Magnetron - Sputterbeschichtungssystem ist für die Herstellung von Dünnfilmen mit Nano - oder Mikrostrukturen konzipiert. Es unterstützt die Abscheidung von Metall-, Oxid-, Nitrid- und Dielektrikumfilmen in flexiblen Zweitarget - Modi.