炭化ケイ素（SiC）結晶成長炉

この炭化ケイ素（SiC）結晶成長炉は、誘導加熱と物理的気相輸送法（PVT）を用いて、SiC粉末を昇華させ、高純度の6インチ炭化ケイ素結晶を成長させます。