高純度マグネトロンスパッタリングコーティングシステム

このマグネトロンスパッタリングシステムは、ナノ/マイクロ構造の薄膜作製に設計されており、柔軟なデュアルターゲットモードで金属、酸化物、窒化物、誘電体膜の成膜をサポートします。