СИСТЕМА АТОМНОСЛОЙНОГО НАНЕСЕНИЯ (ALD)

СИСТЕМА АТОМНОСЛОЙНОГО НАНЕСЕНИЯ (ALD) предназначена для роста ультратонких диэлектрических пленок с использованием технологии ALD. Идеально подходит для нанесения пленок Al₂O₃, ZnO и прозрачных проводящих оксидов с атомно - масштабной точностью.