КВАДРАТНАЯ ЧЕТЫРЕХКАМЕРНАЯ СИСТЕМА МАГНЕТРОННОГО НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ

КВАДРАТНАЯ ЧЕТЫРЕХКАМЕРНАЯ СИСТЕМА МАГНЕТРОННОГО НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ разработана для нанесения тонких покрытий на больших площадях. Эта система позволяет последовательно или реактивно наносить металлические покрытия на кристаллический кремний в условиях высокого или низкого вакуума.